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扫描透射电子显微镜(scanning transmission electron microscopy,STEM)

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既有透射电子显微镜又有扫描电子显微镜的显微镜。象SEM一样,STEM用电子束在样品的表面扫描,但又象TEM,通过电子穿透样品成像。STEM能够获得TEM所不能获得的一些关于样品的特殊信息。STEM技术要求较高,要非常高的真空度,并且电子学系统比TEM和SEM都要复杂。

 

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