电子显微镜

一、电子显微镜的结构

电镜的主要结构有：电子光学系统、真空系统、供电系统。

1.电子光学系统

1）照明部分

（1）阴极：又称灯丝，一般是由0.03～0.1毫米的钨丝作成V或Y形状。

（2）阳极：加速从阴极发射出的电子。为了安全，一般都是阳极接地，阴极带有负高压。

（3）控制极：会聚电子束；控制电子束电流大小，调节象的亮度。

阴极、阳极和控制极决定着电子发射的数目及其动能，因此，人们习惯上把它们通称为“电子枪”。

（4）聚光镜：由于电子之间的斥力和阳极小孔的发散作用，电子束穿过阳极小孔后，又逐渐变粗，射到试样上仍然过大。聚光镜就是为克服这种缺陷加入的，它有增强电子束密度和再一次将发散的电子会聚起来的作用。

2）成像放大部分

（1）试样室：位于照明部分和物镜之间，它的主要作用是通过试样台承载试样，移动试样。

（2）物镜：电镜的最关键的部分，投射电镜的好坏，很大程度上取决于物镜的好坏。物镜的最短焦距可达1毫米，放大倍数约为300倍，最佳分辨本领可达1埃，目前，实际的分辨本领为2埃。

（3）中间镜

（4）投影镜