JEM-2010透射电镜操作规程
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一、主机室环境温度和湿度的控制,温度在15~25℃,湿度<70%。
二、主机24小时运行,做实验前先检查真空情况,要求主机镜筒真空高于2×10-5Pa,并且高压指示灯(绿灯)亮后,方可加高压。另外打开氮气阀,供主机气阀用。
三、加高压必须按如下程序进行,即20→100KV为2min,等待3 min,100→160KV为6min,等待5min,160→180KV为8min,等待5min,180→200KV为15min,等待5min。
四、将液氮加入冷井(小心烫伤)
五、根据实验要求选定试样台(单倾或双倾),将观察试样小心装上试样台。插入试样台前检查主机工作参数显示屏上试样台的参数条件,选定参数后,插入试样台进行预抽真空,等待绿灯亮后过15min,完全插入试样台,再过2min后加灯丝电流。
六、试样观察分析
1、1~5合轴;
2、小心移动试样台,观察分析试样;
3、根据要求选择、调整聚光镜、物镜和选区的光栏;
4、聚焦、拍照,
5、在高倍条件下需进行电压中心和像散调整。
七、试样观察完毕后,将放大倍数设定在40K,束流聚焦在观察屏中心,关掉灯丝电流,复位试样台至“0”,然后小心拉出试样台。
八、实验完毕后,先退下高压至20KV(200→20KV为2min),然后关掉高压。
九、置ACD模式,将冷井中剩余的液氮加热。
十、离开实验室前,认真检查空调和除湿机的运行情况。
十一、维护保养
1、检查高压箱、电子枪的SF6气压(一星期一次);
2、检查机械泵的油面和清洁度(两星期一次);
3、检查冷却水箱液面高度和清洁度(一星期一次);
4、空气压缩机放水(一星期一次);
5、空调过滤网清洗(每月一次)。