质谱真空泵的维护

前期油泵泵的维护
1.安全信息
   泵必须由接受过适当培训的技术员来维护
   确认该技术员对泵油及系统的产物十分熟悉
   做维护之前必须将泵停下，降到安全的温度
   断开泵及其他元件与电路的连接，以避免发生意外
   维护完毕，在没接上电源之前，重新检查一下泵的旋转方向
 ‘O’ rings 和垫圈如果损坏不可重复利用
   在运转过程中，泵和油会受到化学品的污染。所以，应确认泵是否清洗干净，并采取足够的措施防止这些有害物质对人员的伤害
   维护完毕后，应检查是否有泄露的地方，如有，应重新密封
   不要接触或吸入泵受高温（260℃）产生的热降解的产物，它们是很危险的，包括油、油脂和真空脂
2.维护计划
   为使泵能正常工作，需参照下表做其维护
   维护项目         频率
   检查油位         需要时，每月
   更换泵油         工作3000 h
   检查并清洗入口滤器         每次换油时
   清洁前置真空泵载气滤网         每次换油时
   清洗马达风扇周围         每年
   清洗泵四周         每工作15000 h
   安装新刀片         每工作15000 h
   检查马达的状态         每工作15000 h
   检查前置真空泵油位
   根据需要，可以在泵运转的时候检查油位，但如果要往里加油时则需断开前置真空泵及相关部件与电源的连接。
1.透过前置真空泵的可视窗口检查油位是否在最低限以上，最高限以                                                                      2.如果油位在最低限或低于最低限，打开加油孔，加油至最高限，如加得过满可从出口放掉点。
3.如果油污染严重时，放掉受污染的油，清洗泵后加入干净的油。
   更换前置真空泵油 
1.开启泵运转10分钟以加热泵油，然后关泵(油加热后可降低其粘性，比较容易倒出来)。                                    2.断开泵和电路及真空系统的连接。                                                                                                                               3.取下加油孔的塞子                                                                                                                                                           4.将泵放在一个适当的支撑物（如：凳子）上以方便泵的倾斜，在排油口下放合适的容器。取下排油口的塞子，让油在重力的作用下流到容器中。
5.油受到污染时：
5.1取下加油孔的塞子，倒进干净的油。
5.2重新连上泵和电路的连接，开泵运转5-10分钟。
5.3断开泵和电路的连接，取下排油口的塞子，让油流出来。
5.4重复上述步骤直到将泵清洗干净。
6.塞上排油口的塞子，移掉支撑物，重新接上泵和电路及真空系统的连接 。
7.装上新油，直到油位达到MAX位置附近。
8.等几分钟直到油抽到泵中，需要的话，可再添油（需再关泵）。塞上加油孔的塞子。                                     检查和清洁前置真空泵入口过滤器 。                                                                                                                             1.旋开入口转接器，取下‘O’ ring，弹性挡圈和入口过滤器。
2.用适当的溶液清洗入口过滤器，阴干入口过滤器。                                                                                                  3.重新装上入口过滤器、弹性挡圈、‘O’ ring和入口转接器。
清洁前置真空泵载气滤网
1.取下固定垫圈
2.取下金属丝网及滤头元件
3.用合适的溶剂清洗金属丝网及滤头元件，阴干后重新装在泵上                                                                               4.重新固定好固定垫圈

清洗马达风扇周围
1.关掉泵，断开其与电源的连接
2.利用干的布或毛刷清除电动机的风扇罩和围栏的污染物
注意:
如果电动机的风扇罩及周围不保持干净的话，进入马达的气流将受到限制从而导致泵过热